真空泵的密封可靠及安裝要求

真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱(chēng)陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì )使真空裝置得到較好的真空度。

真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空，有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無(wú)油時(shí)，應該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

真空泵應安裝在地面結實(shí)堅固的場(chǎng)所，周?chē)鷳粲谐浞值挠嗟?，便于檢查、維護、保養。真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉平穩，振動(dòng)小。

真空泵與系統的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時(shí)應清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。）